3M Liqui-Cel EXF G492 4x13 X50脱气膜案例1：半导体先进制程尾气洗涤液脱气应用

 

3M Liqui-Cel EXF G492 4x13 X50脱气膜案例1：半导体先进制程尾气洗涤液脱气应用

7nm及以下先进半导体晶圆制造，尾气洗涤液用于处理工艺尾气，洗涤液中溶解氧会导致洗涤效率下降、尾气处理不达标，同时腐蚀洗涤设备，某晶圆制造厂针对先进制程尾气处理系统，选用3M Liqui-Cel EXF G492 4x13 X50脱气膜，搭建洗涤液循环脱气单元，保障尾气处理效果。 3M Liqui-Cel EXF G492 4x13 X50脱气膜搭载X50特种抗腐蚀膜丝，4×13小型构型适配1-1.5m³/h洗涤液循环流量，膜材质耐碱性洗涤液腐蚀，不发生膜丝降解、溶胀，长期运行性能稳定，可将洗涤液中溶解氧、二氧化碳同步降至0.8ppb以下，提升洗涤液对酸性尾气的吸收效率，同时降低设备腐蚀速率。该脱气膜体积小巧，可直接安装在尾气洗涤塔循环管路，安装便捷，无需改造原有设备，运行全自动，可实时监测脱气效果，故障自动预警。 3M Liqui-Cel EXF G492 4x13 X50脱气膜投入使用后，尾气处理达标率维持100%，洗涤设备腐蚀率降低95%，洗涤液更换周期延长2倍，大幅降低半导体先进制程尾气处理运维成本。